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1.台阶仪/膜厚仪(美国Ambios Technology Inc.)
XP-1/XP-2
XP-100/XP-200/XP-300

2.原子力显微镜 (美国Ambios Technology Inc.)
扫描隧道显微镜STM
小样品原子力显微镜
大样品原子力显微镜
半导体用工业原子力显微镜
磁场力显微镜MFM、电场力显微镜EFM、摩擦力显微镜LFM
3.光学轮廓仪(美国Ambios Technology Inc.)
Xi-100 Plus
4.光谱式椭偏仪(法国SOPRALAB 公司)
GES5 可见光波段全自动连续光谱式连续角度可变光谱式椭偏仪
GSS5 plus FTIR 红外椭偏仪加付里叶红外FTIR测量
GSS5 plus GXR GES5光谱式与X射线衍射及掠入射GXR联用
半导体用全自动工业椭偏
FPD用全自动工业椭偏仪
5.白光共焦三维轮廓仪(法国STIL公司)
Micromeasure 测量三维轮廓、台阶高度、膜厚
6.原子力显微镜探针及配件
AFM/SPM探针
标样
石墨
 
  
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