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1.台阶仪（美国Ambios Inc.）
XP-1
XP-2 |
2.扫描探针显微镜SPM
(韩国Park SYSTEMS)
多功能SPM XE-70、XE-100、XE-NSOM
大尺寸样品SPM XE-150
半导体用全自动工业原子力显微镜
FPD用全自动工业原子力显微镜 |
3． 光谱式椭偏仪（法国Sopra
公司）
GES5 可见光波段全自动连续光谱式连续角度可变光谱式椭偏仪
GSS5 plus FTIR 红外椭偏仪加付里叶红外FTIR测量
GSS5 plus GXR GES5光谱式与X射线衍射及掠入射GXR联用
半导体用全自动工业椭偏
FPD用全自动工业椭偏仪 |
4．
白光共焦三维轮廓仪（法国STIL公司）
Micromeasure 测量三维轮廓、台阶高度、膜厚 |
5． 光学轮廓仪（美国Ambios
Inc.）
Xi-100 |
6． 原子力显微镜探针及配件
AFM/SPM探针
标样
石墨 |
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